美利体育登录入口官网:GB 50809-2012
硅集成电路芯片工厂设计规范
Code for design of silicon integrated circuits wafer fab
美利体育登录入口官网: GB 50809-2012 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 压缩空气系统 露点低于-76°C时采用内壁电抛光不锈钢管 | 为生产提供干燥压缩空气的系统，确保气体品质要求 |
| 纯化装置 气体纯度大于或等于99.9999% | 用于纯化高纯度气体的美利体育官网首页网址，如氢气纯化器 |
美利体育登录入口官网: 其他标准
GJB 2712A-2009 装备计量保障中测量美利体育官网首页网址和测量过程的质量控制
GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术.版图设计基本规则
ISO 14644-1:2015 洁净室和相关控制环境.第1部分:颗粒物浓度的空气洁净度分级
GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
SEMI E137-0705 (Reapproved 1111)-2011 半导体制造美利体育官网首页网址的最终组装、包装、运输、拆箱和搬迁指南
ISO 14644-18:2023 洁净室和相关受控环境 - 第 18 部分：消耗品适用性评估
IEC 62047-33:2019 半导体器件微机电器件第33部分:MEMS压阻压敏器件
ISO 14644-16:2019 洁净室和相关的受控环境.第16部分:洁净室和分离装置的能源效率
ISO 14644-13:2017 洁净室和相关控制环境 - 第13部分:清洁表面以达到在颗：突Х掷喾矫嫒范ǖ那褰喽
GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
DB31/T 842-2025 微电子元件制造业职业病：刂乒娣
GB/T 44669-2024 残疾人服务机构服务规范
SEMI S10-0307E-2007 风险评估和风险评估过程的安全指南
GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
GJB 548C-2021 微电子器件试验方法和程序
ISO 14644-8:2022 洁净室和相关受控环境.第8部分:用化学浓度（ACC）评估空气清洁度
GB/T 42597-2023 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪
美利体育登录入口官网: 专题
美利体育登录入口官网: GB 50809-2012相似标准
美利体育登录入口官网: 推荐
中美研究人员设计出新型硅基光子芯片
中国南京大学和美国加州理工学院研究人员11月25日在英国《自然·材料》杂志网络版上发表论文称，他们设计出一种新型硅基光子芯片，初步实现了光的单向无反射传输，拓展了光子晶体及传统超构材料的研究领域，为经典光系统中探索和发展具有量子特性的新型光子器件提供了新的研究思路。 通过光子而非电子携带信...
2024年上海国际晶圆制造与封装展会及集成电路设计及芯片展会
展会名称：2024中国（上海）国际半导体展览会英文名称：China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间：2024年11月18-20日?论坛时间：2024年11月18-19日?展会地点：上海新...
2024半导体展会|2024中国（上海）集成电路设计及芯片与应用博览会「官网」
展会名称：2024中国（上海）国际半导体展览会英文名称：China (shanghai) int'l Circuit board & Electronic assembly Show 2024展会时间：2024年11月18-20日?论坛时间：2024年11月18-19日?展会地点：上海新...