美利体育登录入口官网:SEMI E137-0705 (Reapproved 1111)-2011
半导体制造美利体育官网首页网址的最终组装、包装、运输、拆箱和搬迁指南
GUIDE FOR FINAL ASSEMBLY, PACKAGING, TRANSPORTATION, UNPACKING, AND RELOCATION OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
- 标准号
- SEMI E137-0705 (Reapproved 1111)-2011
- 发布
- 2011年
- 总页数
- 9页
- 发布单位
- 国际半导体协会
- 引用标准
- ISO 14644-1 SEMI F63
- 本体
- 半导体制造美利体育官网首页网址
- 适用范围
- 本标准作为指南，用于半导体制造美利体育官网首页网址（SME）、独立子组件和部件从供应商设施进行的最终组装和包装，以及从客户装卸区/接收区到其洁净室制造区域的运输、拆卸和重新定位，适用于高纯度和超高纯度应用。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| DOD Department of Defense | 国防部 |
| EPS expanded polystyrene | 发泡聚苯乙烯 |
| IPA isopropyl alcohol | 异丙醇（2-丙醇） |
| ISO International Organization for Standardization | 国际标准化组织 |
| PO purchase order | 采购订单 |
| SEMI Semiconductor Equipment and Materials International | 国际半导体美利体育官网首页网址与材料协会 |
| SME semiconductor manufacturing equipment | 半导体制造美利体育官网首页网址 |
| TOC total organic carbon | 总有机碳 |
| UPW ultrapure water | 超纯水 |
| USA United States of America | 美利坚合众国 |
| WLGR Western Lumber Grading Rules | 西部木材分级规则 |
| WWPA Western Wood Products Association | 西部木材产品协会 |
| PWP particles per wafer pass | 每片晶圆通过的颗粒数 |
美利体育登录入口官网: SEMI E137-0705 (Reapproved 1111)-2011 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 倾斜指示器 低轮廓、一次性、不可重置 | 用于监测运输过程中美利体育官网首页网址是否发生倾斜的装置，需安装在箱体内外。 |
| 冲击指示器 低轮廓、一次性、不可重置 | 用于监测运输过程中美利体育官网首页网址是否受到冲击的装置，需安装在箱体内外，灵敏度根据美利体育官网首页网址敏感性计算。 |
| 温湿度记录仪 非一次性、电池供电 | 用于记录运输过程中温度和湿度变化的美利体育官网首页网址，可替代一次性指示器。 |