美利体育登录入口官网:IEC 62047-33:2019
半导体器件微机电器件第33部分:MEMS压阻压敏器件
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 33: MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
- 标准号
- IEC 62047-33:2019
- 发布
- 2019年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.140 频率控制和选择用压电器件与介质器件
- 总页数
- 28页
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-33:2019
- 引用标准
- IEC 60068-2-1 IEC 60068-2-10 IEC 60747-14-3 IEC 60749-10 IEC 60749-12 IEC 60749-13 IEC 60749-2 IEC 60749-24 IEC 60749-25 IEC 60749-36 IEC 60749-6 IEC TR 61000-4-1
- 本体
- 频率响应
- 适用范围
- IEC 62047的这一部分定义了术语@定义@基本额定值和特性@以及适用于MEMS压阻式压力敏感器件的测试方法。本文件适用于汽车@医疗@电子产品的压阻式压力敏感器件。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| MEMS压阻式压力敏感美利体育官网首页网址 MEMS piezoresistive pressure-sensitive device | 一种通过压阻效应将压力信号转换为电信号的美利体育官网首页网址，通常包括硅基板上的腔膜结构和通过MEMS技术制造的膜中的惠斯通电桥。 |
| 频率响应 frequency response | 输出与测量值随频率变化的比率变化。 |
| 共振频率 resonant frequency | 美利体育官网首页网址响应最大输出振幅的频率。 |
| 阻尼比 damping ratio | 实际阻尼系数与临界阻尼系数的比值。 |
| 上升时间 rise time | 当测量值发生阶跃变化时，美利体育官网首页网址输出从最终稳态值的10%上升到90%所需的时间长度。 |