美利体育登录入口官网:T/CESA 1081-2020
半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer
- 标准号
- T/CESA 1081-2020
- 发布
- 2020年
- 国际标准分类(ICS)
- 13.020.01 环境和环境保护综合
- 总页数
- 22页
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CESA 1081-2020
- 引用标准
- GB 17167 GB 18580 GB 18581 GB 18582 GB 18583 GB 18584 GB 18585 GB 18586 GB 18587 GB 18588 GB 18597 GB 18599 GB 18613 GB 19153 GB 19577 GB 19761 GB 20052 GB 24789 GB 24790 GB 50034 GB 50472 GB 50809 GB 6566 GB/T 19001 GB/T 20862-2007 GB/T 23331 GB/T 23685 GB/T 24001 GB/T 24256 GB/T 26572 GB/T 29115 GB/T 31274 GB/T 32150 GB/T 34664 GB/T 36132-2018 GB/T 45001 GB/T 7119 RB/T 101 SJ/T 11364 SJ/T 16000 SJ/Z 11388
- 本体
- 半导体集成电路 绿色工厂
- 适用范围
- 本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。 本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 绿色工厂 Green Factory | 实现了用地集约化、原料无害化、生产洁净化、废物资源化、能源低碳化的工厂。 |
| 半导体集成电路 Semiconductor Integrated Circuit | 在半导体内部和上面形成元件和互联的集成电路。 |
| 生态（绿色）设计 Eco-design | 按照全生命周期的理念，在产品设计开发阶段系统考虑原材料获取、生产制造、包装运输、使用维护和回收处理等各个环节对资源环境造成的影响，力求产品在全生命周期中最大限度降低资源消耗、尽可能少用或不用含有有害物质的原材料，减少污染物产生和排放，从而实现环境保护的活动。 |
| 限用物质应用例外 Restricted Substance Exception | 由于技术性或经济性等因素的局限，对于电子电气产品中含有的某些限用物质，在某一时期内，法律法规不规定其限量要求或放宽其限量要求的技术应用。 |
| 臭氧层消耗物质 Ozone Depleting Substances (ODS) | 破坏臭氧层的物质，主要包括氟氯化碳、三氯乙烷、三氯乙烯、三氯乙炔及四氯化碳等。 |
美利体育登录入口官网: T/CESA 1081-2020 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| VOC处理装备 适用于生产规模 | 用于处理挥发性有机化合物的美利体育官网首页网址。 |
| 能源管理中心 自动化、信息化技术 | 对用能单位能源结构的购入存储、加工转换、输送分配、终端使用环节和能源计量器具实施集中动态监控和数字化管理，通过能效分析、管理、考核，实现用能单位节能降耗的管控一体化。 |