美利体育登录入口官网:GB 50809-2012
硅集成电路芯片工厂设计规范
Code for design of silicon integrated circuits wafer fab
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美利体育登录入口官网: GB 50809-2012 中，可能用到以下仪器美利体育官网首页网址
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| 压缩空气系统 露点低于-76°C时采用内壁电抛光不锈钢管 | 为生产提供干燥压缩空气的系统，确保气体品质要求 |
| 纯化装置 气体纯度大于或等于99.9999% | 用于纯化高纯度气体的美利体育官网首页网址，如氢气纯化器 |
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