美利体育登录入口官网:DIN EN 62047-12:2012
半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011); German version EN 62047-12:2011
- 标准号
- DIN EN 62047-12:2012
- 发布
- 2012年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.080.01 半导体器分立件综合 31.220.01 机电元件综合
- 总页数
- 31页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 当前最新
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 引用标准
- IEC 62047-3:2006 ISO 12107
- 被代替标准
- DIN IEC 62047-12:2010
- 本体
- 微机电系统 疲劳强度
- 适用范围
- 本部分IEC 62047规定了微机电系统（MEMS）组件和微机器中微米级机械结构在弯曲载荷（疲劳强度）下的疲劳强度测试方法，利用其共振振动行为。本规范适用于长度方向尺寸为10 ?m至1 000 ?m、厚度为1 ?m至100 ?m的振动结构，以及长度小于1 mm、宽度小于1 mm、厚度在0.1 ?m至10 ?m之间的待测材料结构。微系统组件、微机器等的主要结构材料具有特殊性质，例如微米级尺寸、通过薄膜沉积工艺制造材料、以及使用非机械加工工艺（包括光刻）制造测试组件。MEMS结构通常具有比宏观结构更高的基频共振和更高的机械应力。为了确定MEMS结构的寿命，需要提供一种测试方法，用于测试超高循环次数（高达10^12）下的疲劳强度。该微米级材料结构测试方法的目的是通过施加具有高机械（载荷）应力和高载荷交变频率的载荷，并利用共振振动，在较短的测试时间内确定机械疲劳特性及其参数。
美利体育登录入口官网: DIN EN 62047-12:2012 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 传感器 精度偏差小于或等于1% | 用于测量测试组件运动以计算应力或应变振幅的装置，需连续测量或定期测量。 |
| 压电堆执行器 外部振动源 | 用于驱动测试组件振动的执行器（见附录B）。 |
| 执行器 静电、压电、热或机电执行器 | 用于产生必要振幅和频率的振动发生装置，可集成在测试组件中。 |
| 控制单元 闭环或开环控制 | 用于根据传感器信号产生振动信号，以维持恒定振幅和频率的共振振动。 |
| 激光位移测量装置 非接触式 | 用于测量测试组件循环位移的装置（见附录C）。 |
| 记录单元 数据记录仪 | 用于收集测试数据的装置。 |
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