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半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011); German version EN 62047-12:2011
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- 标准号
- DIN EN 62047-12:2012
- 发布
- 2012年
- ICS
-
31.080.01
31.220.01
- 总页数
- 31页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 当前最新
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 引用标准
- IEC 62047-3:2006 ISO 12107
- 被代替标准
- DIN IEC 62047-12:2010
- 本体
- 微机电系统 疲劳强度
本部分IEC 62047规定了微机电系统（MEMS）组件和微机器中微米级机械结构在弯曲载荷（疲劳强度）下的疲劳强度测试方法，利用其共振振动行为。本规范适用于长度方向尺寸为10 ?m至1 000 ?m、厚度为1 ?m至100 ?m的振动结构，以及长度小于1 mm、宽度小于1 mm、厚度在0.1 ?m至10 ?m之间的待测材料结构。微系统组件、微机器等的主要结构...
美利体育登录入口官网: DIN EN 62047-12:2012 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 传感器 精度偏差小于或等于1% | 用于测量测试组件运动以计算应力或应变振幅的装置，需连续测量或定期测量。 |
| 压电堆执行器 外部振动源 | 用于驱动测试组件振动的执行器（见附录B）。 |
| 执行器 静电、压电、热或机电执行器 | 用于产生必要振幅和频率的振动发生装置，可集成在测试组件中。 |
| 控制单元 闭环或开环控制 | 用于根据传感器信号产生振动信号，以维持恒定振幅和频率的共振振动。 |
| 激光位移测量装置 非接触式 | 用于测量测试组件循环位移的装置（见附录C）。 |
| 记录单元 数据记录仪 | 用于收集测试数据的装置。 |
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