美利体育登录入口官网

美利体育登录入口官网:微机电系统的标准规范有哪些？

发布时间：2026-05-24

---

微机电系统：微米尺度上集成机械与电子元件的交叉技术，涉及微机械、电子、光学等多功能器件。典型应用于传感器和执行器，是MEMS技术的全称。

 

微机电系统相关标准共87份，包含现行有效、已替代、已作废等。

在国际标准分类中，微机电系统涉及到的分类有：半导体器分立件综合、其他半导体分立器件、机电元件综合、机电元件综合等。

微机电系统涉及到的各类执行标准、规范如下(标准的数量，基本排除已被替代的标准，下同)：

未分类	试验标准	规范标准	术语标准
60	17	6	2

以下国家标准机构或者组织发布了微机电系统相关的标准规范，统计数据如下：

国际电工委员会	德国标准化学会	英国标准学会	立陶宛标准局	西班牙标准化协会	国家市场监督管理总局	其它
23	23	13	7	6	3	9

美利体育登录入口官网:按标准类别列表如下：

规范标准

微机电系统都有哪些执行标准、规范？共计6 个，查看全部>>

标准号	标准名称	发布机构
GB/T 28274-2012	硅基MEMS制造技术.版图设计基本规则	国家市场监督管理总局
GB/T 28276-2012	硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范	国家市场监督管理总局
GB/T 26112-2010	微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则	国家市场监督管理总局
BS EN 62047-21:2014	半导体器件. 微型机电装置. 薄膜MEMS材料泊松比试验方法	英国标准学会
VDE 0884-135-7-2019	电子元件的长期存储 第7部分：微机电美利体育官网首页网址 (IEC 47/2507/CD:2018)	德国电气，电子和信息技术协会
UNE-EN 62047-26:2016	半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法	西班牙标准化协会

术语标准

微机电系统定义在哪些术语标准中？

标准号	标准名称	发布机构
GB/T 28276-2012	硅基MEMS制造技术.体硅溶片工艺规范	国家市场监督管理总局
ASTM E2444-11e1	与反射薄膜上测量的相关术语	美国材料与试验协会

试验标准

试验中涉及到微机电系统的执行标准有哪些？共计17 个，查看全部>>

标准号	标准名称	发布机构
DB32/T 4894-2024	微机电系统半导体气体传感器性能美利体育登录入口官网方法	江苏省标准
IEC 62047-46:2025	半导体器件-微机电系统第46部分：基于硅的MEMS制造技术-纳米级厚度薄膜拉伸强度测量方法	国际电工委员会
IEC 62047-45:2025	半导体器件 微机电美利体育官网首页网址 第45部分：基于硅的MEMS制造技术——纳米结构冲击阻力测量方法	国际电工委员会
IEC 62047-46:2025 PRV	半导体器件—微机电系统—第46部分：基于硅的MEMS制造技术—纳米级厚度薄膜拉伸强度测量方法	国际电工委员会
IEC 62047-45:2025 PRV	半导体器件-微机电系统 第45部分：基于硅的MEMS制造技术 - 纳米结构冲击抗性测量方法	国际电工委员会
IEC 62047-47:2024	半导体器件 微机电器件 第47部分：硅基MEMS制造技术 微结构弯曲强度测量方法	国际电工委员会

未分类

以下标准未给出明确分类。共计60 个，更多>>

标准号	标准名称	发布机构
UNE-EN 62047-4:2010	半导体器件 微机电器件 第4部分：MEMS 通用规范	西班牙标准化协会
ASTM E2245-11(2018)	使用光学干涉仪的薄的反射膜的残余应变测量的标准测试方法	美国材料与试验协会
ASTM E2246-11(2018)	使用光学干涉仪的薄的反射膜的应变梯度测量的标准测试方法	美国材料与试验协会
IEC 62047-4:2026 RLV	半导体器件 微机电美利体育官网首页网址 第4部分：MEMS通用规范	国际电工委员会
IEC 62047-4:2026	半导体器件 微机电器件 第4部分：MEMS的通用规范	国际电工委员会
DIN EN 62047-5:2012	半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关(IEC 62047-5-2011).德文版本 EN 62047-5-2011	德国标准化学会

美利体育登录入口官网:标准本体“微机电系统”有关的标准，按发布机构统计：

机构代码	机构名称	“微机电系统”标准数量	类型
CN-GB	国家市场监督管理总局	3	规范、术语
CN-DB32	江苏省标准	1	试验
GB-BSI	英国标准学会	13	规范、试验、其它
IX-IEC	国际电工委员会	23	试验、其它
DE-VDE	德国电气，电子和信息技术协会	1	规范
CN-NDGJ	行业标准-能源电力规划	1	试验
ES-UNE	西班牙标准化协会	6	规范、试验、其它
DE-DIN	德国标准化学会	23	试验、其它
US-ASTM	美国材料与试验协会	3	其它、术语
/		1	其它
JP-JISC	日本工业标准调查会	1	其它
LT-LST	立陶宛标准局	7	其它
LT-LSD		1	其它