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BS IEC 62047-12 半导体器件 微机电美利体育官网首页网址 第12部分 利用 MEMS 结构共振对薄膜材料进行疲劳测试的方法

BS IEC 62047-12. Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 12. A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure

标准号

10/30205425 DC

发布

2010年

发布单位

英国标准学会

当前最新

10/30205425 DC

 

 

适用范围

交叉引用：ISO 12107:2003 IEC 62047-2:2006 IEC 62047-3:2006

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