美利体育登录入口官网:DIN EN 62047-12:2012
半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011); German version EN 62047-12:2011
美利体育登录入口官网: DIN EN 62047-12:2012 发布历史
DIN EN 62047-12:2012由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2012-06。
DIN EN 62047-12:2012 在中国标准分类中归属于: L40 半导体分立器件综合，在国际标准分类中归属于: 31.080.01 半导体器分立件综合,31.220.01 机电元件综合。
DIN EN 62047-12:2012 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011的最新版本是哪一版？
最新版本是 DIN EN 62047-12:2012-06 。
- 标准号
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 发布时间
- 2011-10-18
- 标准名称
- 半导体器件 - 微机电器件 - 第12部分：利用MEMS结构共振振动测试薄膜材料弯曲疲劳强度的方法
- 发布机构
- CENELEC
- 编制依据
- IEC 62047-12:2011
- 文件关系说明
- 本欧洲标准由CENELEC于2011-10-18通过，作为DIN标准于2012-06-01生效。
- 与国际文件关系
- 等同于IEC 62047-12:2011
- 专利声明（未识别专利）
- 本文件的部分内容可能涉及专利权。CENELEC不负责识别任何此类专利权。
- 提出和归口信息
- 由DKE德国电气电子信息技术委员会（DKE）负责，工作组K 631“半导体器件”。
- 起草信息
- 由IEC TC 47“半导体器件”下属的SC 47F“微机电系统”工作组起草。
- 版本历史
- 前身为E DIN IEC 62047-12:2010-05。
- 解释单位
- CENELEC
- 编制原因和目的
- 为了确定MEMS结构的寿命，需要提供一种测试方法，用于测试超高循环次数下的疲劳强度，并在较短的测试时间内确定机械疲劳特性。
- 技术内容特殊信息
- 适用于长度方向尺寸为10 ?m至1 000 ?m、厚度为1 ?m至100 ?m的振动结构，以及长度小于1 mm、宽度小于1 mm、厚度在0.1 ?m至10 ?m之间的待测材料结构。
- 分部分标准的各部分关系
- 本标准为IEC 62047系列的第12部分。
DIN EN 62047-12:2012 发布之时，引用了标准
- IEC 62047-3:2006 半导体器件.微机电美利体育官网首页网址.第3部分:拉伸试验的薄膜标准试验片
- ISO 12107 金属材料.疲劳试验.数据的统计规划和分析*， 2012-08-01 更新
* 在 DIN EN 62047-12:2012 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
DIN EN 62047-12:2012的历代版本如下：
- 2012年 DIN EN 62047-12:2012-06 半导体器件-微机电器件-第12部分：利用MEMS结构共振的薄膜材料弯曲疲劳测试方法
- 2012年 DIN EN 62047-12:2012 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011
- 0000年 DIN IEC 62047-12:2010
本部分IEC 62047规定了微机电系统（MEMS）组件和微机器中微米级机械结构在弯曲载荷（疲劳强度）下的疲劳强度测试方法，利用其共振振动行为。本规范适用于长度方向尺寸为10 ?m至1 000 ?m、厚度为1 ?m至100 ?m的振动结构，以及长度小于1 mm、宽度小于1 mm、厚度在0.1 ?m至10 ?m之间的待测材料结构。微系统组件、微机器等的主要结构材料具有特殊性质，例如微米级尺寸、通过薄膜沉积工艺制造材料、以及使用非机械加工工艺（包括光刻）制造测试组件。MEMS结构通常具有比宏观结构更高的基频共振和更高的机械应力。为了确定MEMS结构的寿命，需要提供一种测试方法，用于测试超高循环次数（高达10^12）下的疲劳强度。该微米级材料结构测试方法的目的是通过施加具有高机械（载荷）应力和高载荷交变频率的载荷，并利用共振振动，在较短的测试时间内确定机械疲劳特性及其参数。
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- 标准号
- DIN EN 62047-12:2012
- 发布
- 2012年
- ICS
-
31.080.01
31.220.01
- 总页数
- 31页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 当前最新
- DIN EN 62047-12:2012-06
- 引用标准
- IEC 62047-3:2006 ISO 12107
- 被代替标准
- DIN IEC 62047-12:2010
- 本体
- 微机电系统 疲劳强度
美利体育登录入口官网: DIN EN 62047-12:2012 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 传感器 精度偏差小于或等于1% | 用于测量测试组件运动以计算应力或应变振幅的装置，需连续测量或定期测量。 |
| 压电堆执行器 外部振动源 | 用于驱动测试组件振动的执行器（见附录B）。 |
| 执行器 静电、压电、热或机电执行器 | 用于产生必要振幅和频率的振动发生装置，可集成在测试组件中。 |
| 控制单元 闭环或开环控制 | 用于根据传感器信号产生振动信号，以维持恒定振幅和频率的共振振动。 |
| 激光位移测量装置 非接触式 | 用于测量测试组件循环位移的装置（见附录C）。 |
| 记录单元 数据记录仪 | 用于收集测试数据的装置。 |
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