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美利体育登录入口官网:JIS R 1636:1998
精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度

Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer

正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证

标准号
JIS R 1636:1998
发布
1998年
国际标准分类(ICS)
81.060.30 高级陶瓷   
总页数
9页
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS R 1636:1998
 
 
引用标准
ISO 3274 JIS B 0651 JIS R 1600 JIS Z 8401
 
 
本体
精细陶瓷薄膜 薄膜厚度
适用范围
本标准规定了用触针式表面粗糙度计测试精细陶瓷薄膜厚度的方法。适用厚度范围为10-10000nm。
术语描述
精细陶瓷薄膜
fine ceramic thin film
在基板表面提供薄涂层的精细陶瓷制成的薄膜。材料示例包括氧化物、碳化物和氮化物,涂层方法示例包括真空沉积、溅射和CVD
ITO
Indium tin oxide
氧化铟锡。在玻璃基板上提供薄膜涂层,作为透明导电膜广泛投入实际应用。典型的精细陶瓷薄膜之一
台阶
step
由基板上未覆盖部分和覆盖部分形成的边界部分
接触探针
contact probe
轮廓仪中用于扫描表面的探针,尖端为金刚石材质
基板
substrate
薄膜涂覆的基础材料

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接触式探针轮廓仪

符合JIS B 0651或ISO 3274
用于测量薄膜厚度的接触式轮廓测量仪器
接触探针

金刚石材质,锥形带球形尖端,顶角60°或90°,半径2μm、5μm、10μm或12.5μm
轮廓仪的测量探针

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