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美利体育登录入口官网:JIS R 1636:1998
精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度

Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer

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美利体育登录入口官网: JIS R 1636:1998 发布历史

JIS R 1636:1998由日本工业标准调查会 JP-JISC 发布于 1998-01-20。

JIS R 1636:1998 在中国标准分类中归属于: Q32 特种陶瓷,在国际标准分类中归属于: 81.060.30 高级陶瓷。

JIS R 1636:1998 精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度的最新版本是哪一版?

最新版本是 JIS R 1636:1998 。

JIS R 1636:1998 发布之时,引用了标准

  • ISO 3274 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构:轮廓法 接触(触针)式仪器的标称特性 技术勘误1*, 1998-06-01 更新
  • JIS B 0651 几何产品规范(GPS) 表面纹理:剖面法 接触式(触针式)仪器的标称特性(修正案 1)*, 2022-03-22 更新
  • JIS R 1600 关于精细陶瓷术语的词汇表(修正案1)
  • JIS Z 8401 数字四舍五入*, 2019-01-01 更新

* 在 JIS R 1636:1998 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。

JIS R 1636:1998的历代版本如下:

  • 1998年 JIS R 1636:1998 精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度

 

本标准规定了用触针式表面粗糙度计测试精细陶瓷薄膜厚度的方法。适用厚度范围为10-10000nm。

术语描述
精细陶瓷薄膜
fine ceramic thin film
在基板表面提供薄涂层的精细陶瓷制成的薄膜。材料示例包括氧化物、碳化物和氮化物,涂层方法示例包括真空沉积、溅射和CVD
ITO
Indium tin oxide
氧化铟锡。在玻璃基板上提供薄膜涂层,作为透明导电膜广泛投入实际应用。典型的精细陶瓷薄膜之一
台阶
step
由基板上未覆盖部分和覆盖部分形成的边界部分
接触探针
contact probe
轮廓仪中用于扫描表面的探针,尖端为金刚石材质
基板
substrate
薄膜涂覆的基础材料

JIS R 1636:1998

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标准号
JIS R 1636:1998
发布
1998年
ICS
81.060.30
总页数
9页
发布单位
日本工业标准调查会
当前最新
JIS R 1636:1998
 
 
引用标准
ISO 3274 JIS B 0651 JIS R 1600 JIS Z 8401
 
 
本体
精细陶瓷薄膜 薄膜厚度

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接触式探针轮廓仪

符合JIS B 0651或ISO 3274
用于测量薄膜厚度的接触式轮廓测量仪器
接触探针

金刚石材质,锥形带球形尖端,顶角60°或90°,半径2μm、5μm、10μm或12.5μm
轮廓仪的测量探针

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