美利体育登录入口官网:JIS R 1636:1998
精细陶瓷薄膜厚度的试验方法.用接触探针式表面光度计法测定薄膜厚度
Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer
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- 标准号
- JIS R 1636:1998
- 发布
- 1998年
- ICS
-
81.060.30
- 总页数
- 9页
- 发布单位
- 日本工业标准调查会
- 当前最新
- JIS R 1636:1998
- 引用标准
- ISO 3274 JIS B 0651 JIS R 1600 JIS Z 8401
- 本体
- 精细陶瓷薄膜 薄膜厚度
本标准规定了用触针式表面粗糙度计测试精细陶瓷薄膜厚度的方法。适用厚度范围为10-10000nm。
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