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精细陶瓷（先进陶瓷、先进技术陶瓷） 用接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Determination of thickness of ceramic films by contact-probe profilometer (ISO 18452:2005); German version EN ISO 18452:2016
- 标准号
- DIN EN ISO 18452:2016-09
- 发布
- 2016年
- 总页数
- 15页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN EN ISO 18452:2016-09
- 引用标准
- ISO 3274
- 适用范围
- 本国际标准规定了一种使用接触式轮廓仪测定陶瓷薄膜厚度的方法。该方法适用于厚度在 10 nm 至 10 000 nm 范围内的陶瓷薄膜。注意：该方法要求涂层区域与未涂层区域（基底）之间存在明显且轮廓清晰的边界。
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| 接触式轮廓仪 符合ISO 3274标准，配备金刚石触针（半径2 ?m, 5 ?m, 10 ?m或12.5 ?m，锥角60°或90°） | 用于扫描样品表面并获取高度轮廓的仪器，需使用校准标准件进行校准，确保测量精度。 |
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