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美利体育登录入口官网:GB/T 36969-2018
纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy

GBT36969-2018, GB36969-2018

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美利体育登录入口官网: GB/T 36969-2018 发布历史

GB/T 36969-2018由国家市场监督管理总局 国家标准化管理员会 CN-GB 发布于 2018-12-28,并于 2018-12-28 00:00:00.0 实施。

GB/T 36969-2018 在中国标准分类中归属于: J04 基础标准与通用方法,在国际标准分类中归属于: 17.040.20 表面特征。

GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法的最新版本是哪一版?

最新版本是 GB/T 36969-2018 。

标准号
GB/T 36969-2018
标准名称
纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
编制依据
GB/T 1.1-2009
提出和归口信息
提出单位:中国科学院;归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会 (SAC/TC279)
起草信息
起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心;主要起草人:李慧琴、金承钰、梁齐、何丹农、韦菲菲

GB/T 36969-2018 发布之时,引用了标准

GB/T 36969-2018的历代版本如下:

  • 2018年 GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

 

本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、美利体育官网首页网址、样品、测试步骤和数据处理。 本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。

术语描述
原子力显微术
Atomic Force Microscopy
通过美利体育登录入口官网探针和样品表面的相互作用力(吸引力或排斥力)来控制探针和样品间的距离从而获得表面形貌的扫描探针显微镜技术。
扫描长度
Scanlength
从开始到结束一次扫描的距离。

GB/T 36969-2018

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标准号
GB/T 36969-2018
别名
GBT36969-2018
GB36969-2018
发布
2018年
ICS
17.040.20
总页数
9页
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 36969-2018
 
 
引用标准
GB/T 31227 JJF 1059.1-2012
 
 
本体
测量原理

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原子力显微镜 宜选择的测试模式有接触模式、轻敲模式和PeakForce模式。探针的选择根据测试模式不同而异:弹性系数小于5N/m用于接触模式,大于2N/m用于轻敲模式,介于0.1N/m至1N/m之间用于PeakForce模式。

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