美利体育登录入口官网:GB/T 36969-2018
纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
GBT36969-2018, GB36969-2018
1. 标准化背景与意义
GB/T 36969—2018标准由中国科学院提出，主要起草单位包括上海交通大学和纳米技术及应用国家工程研究中心。该标准的制定填补了国内在利用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度领域的空白。
2. 标准框架对比
| 标准维度 | GB/T 36969—2018 | 对比参考标准 |
|---|---|---|
| 适用范围 | 纳米薄膜厚度测量（无机材料） | GB/T 31227（表面粗糙度测量） |
| 测试条件 | 环境温度：20°C±5°C，相对湿度≤60% | - |
| 美利体育官网首页网址要求 | 推荐使用接触模式、轻敲模式和PeakForce模式 | JJF 1059.1（测量不确定度） |
3. 技术原理与实施建议
技术原理：通过AFM测试获得纳米薄膜台阶的微观形貌，利用高度差计算厚度。数据处理时需注意刨除台阶两侧各5%-10%的数据点，并选择至少三个区域进行测试。
美利体育登录入口官网:实施建议：
- 美利体育官网首页网址校准：定期使用标准样品校准仪器的x-y和z方向尺寸。
- 探针选择：根据测试模式选择弹性系数合适的探针，避免划伤样品表面。
- 数据处理：确保台阶高度计算公式（见式1）中数据点的合理选。跎偃宋蟛。
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- 标准号
- GB/T 36969-2018
- 别名
- GBT36969-2018
GB36969-2018 - 发布
- 2018年
- ICS
-
17.040.20
- 总页数
- 9页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 36969-2018
- 引用标准
- GB/T 31227 JJF 1059.1-2012
- 本体
- 测量原理
本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、美利体育官网首页网址、样品、测试步骤和数据处理。 本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
美利体育登录入口官网: GB/T 36969-2018 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 原子力显微镜 | 宜选择的测试模式有接触模式、轻敲模式和PeakForce模式。探针的选择根据测试模式不同而异：弹性系数小于5N/m用于接触模式，大于2N/m用于轻敲模式，介于0.1N/m至1N/m之间用于PeakForce模式。 |