美利体育登录入口官网:GB/T 36969-2018
纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
GBT36969-2018, GB36969-2018
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OLS4500纳米美利体育登录入口官网显微镜
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- 标准号
- GB/T 36969-2018
- 别名
- GBT36969-2018
GB36969-2018 - 发布
- 2018年
- ICS
-
17.040.20
- 总页数
- 9页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 36969-2018
- 引用标准
- GB/T 31227 JJF 1059.1-2012
- 本体
- 测量原理
本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、美利体育官网首页网址、样品、测试步骤和数据处理。 本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
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| 原子力显微镜 | 宜选择的测试模式有接触模式、轻敲模式和PeakForce模式。探针的选择根据测试模式不同而异：弹性系数小于5N/m用于接触模式，大于2N/m用于轻敲模式，介于0.1N/m至1N/m之间用于PeakForce模式。 |