美利体育登录入口官网:GB/T 36969-2018
纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
GBT36969-2018, GB36969-2018
1. 美利体育官网首页网址准备
仪器选择：使用 原子力显微镜 (AFM)，推荐工作模式：
| 测试模式 | 探针弹性系数要求 |
|---|---|
| 接触模式 | <5 N/m |
| 轻敲模式 | >2 N/m |
| PeakForce模式 | 0.1-1 N/m |
校准要求：使用标准样品进行x-y和z方向校准
2. 测试环境控制
- 温度：20±5℃
- 湿度：≤60% RH
- 预热时间：≥30分钟
3. 样品制备流程
美利体育登录入口官网:3.1 台阶制备
采用以下方法之一制备测量台阶：
- 机械刻划法（硬基底适用）
- 遮掩板法（沉积前遮挡）
- 特殊材料溶解法
美利体育登录入口官网:3.2 样品清洗
确保表面无油脂、水渍等污染物
4. 测试步骤
- 固定样品，使台阶位于扫描区域
- 设置扫描参数：
- 数据点：≥200×200
- 扫描速率：1-2Hz
- 扫描长度：＞2μm
- 进行全幅扫描，确保台阶位于图像中部
- 避开颗粒堆积区域
- 至少扫描3个不同区域
5. 数据处理
| 步骤 | 操作要点 |
|---|---|
| 平面拟合 | 修正扫描弯曲 |
| 数据筛选 | 剔除台阶两侧5-10%数据 |
| 高度计算 | 使用公式计算平均厚度 |
厚度计算公式：
Zt = (ΣZi/N1) - (ΣZj/N2)
6. 质量要求
- 重复性：≤0.1nm
- 再现性：≤4%
- 测试次数：≥3次
7. 报告内容
必须包含：环境参数、样品信息、仪器型号、探针规格、测试图像、厚度数据及平均值
请注意，本内容不等同于标准原文，内容仅供参考，本站不保证内容的正确性。准确、完整的信息请参阅正式版文本。
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- 标准号
- GB/T 36969-2018
- 别名
- GBT36969-2018
GB36969-2018 - 发布
- 2018年
- ICS
-
17.040.20
- 总页数
- 9页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 36969-2018
- 引用标准
- GB/T 31227 JJF 1059.1-2012
- 本体
- 测量原理
本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、美利体育官网首页网址、样品、测试步骤和数据处理。 本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
美利体育登录入口官网: GB/T 36969-2018 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 原子力显微镜 | 宜选择的测试模式有接触模式、轻敲模式和PeakForce模式。探针的选择根据测试模式不同而异：弹性系数小于5N/m用于接触模式，大于2N/m用于轻敲模式，介于0.1N/m至1N/m之间用于PeakForce模式。 |