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美利体育登录入口官网:DIN EN ISO 18452:2016-09
精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 用接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Determination of thickness of ceramic films by contact-probe profilometer (ISO 18452:2005); German version EN ISO 18452:2016


美利体育登录入口官网: DIN EN ISO 18452:2016-09 发布历史

DIN EN ISO 18452:2016-09由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2016-09。

DIN EN ISO 18452:2016-09 精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 用接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度的最新版本是哪一版?

最新版本是 DIN EN ISO 18452:2016-09 。

DIN EN ISO 18452:2016-09 发布之时,引用了标准

  • ISO 3274 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构:轮廓法 接触(触针)式仪器的标称特性 技术勘误1

DIN EN ISO 18452:2016-09的历代版本如下:

  • 2016年 DIN EN ISO 18452:2016-09 精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 用接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度
  • 2016年 DIN EN ISO 18452:2016 精密陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷).用接触式探针轮廓测定仪测定陶瓷覆层厚度(ISO 18452-2005).德文版本EN ISO 18452-2016
  • 2015年 DIN EN ISO 18452 E:2015-11 精密陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷) 用接触式探针轮廓测定仪测定陶瓷覆层厚度(草案)
  • 2015年 DIN EN ISO 18452 E:2015 文件草案 精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 通过接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度(ISO 18452:2005)
  • 2003年 DIN EN 1071-1:2003 高级工业陶瓷.陶瓷覆层的试验方法.第1部分:用接触式探针轮廓测定仪测定覆层厚度
  • 0000年 DIN V ENV 1071-1:1993

 

本国际标准规定了一种使用接触式轮廓仪测定陶瓷薄膜厚度的方法。该方法适用于厚度在 10 nm 至 10 000 nm 范围内的陶瓷薄膜。注意:该方法要求涂层区域与未涂层区域(基底)之间存在明显且轮廓清晰的边界。

DIN EN ISO 18452:2016-09 是基于 EN ISO 18452 的发版本。

采用 EN ISO 18452 的发行版本有:

  • BS EN ISO 18452:2016 精密陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷).用接触式探针轮廓测定仪测定陶瓷覆层厚度
  • DIN EN ISO 18452:2016 精密陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷).用接触式探针轮廓测定仪测定陶瓷覆层厚度(ISO 18452-2005).德文版本EN ISO 18452-2016
  • DIN EN ISO 18452:2016-09 精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 用接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度
  • NF A92-810*NF EN ISO 18452:2016 精细陶瓷(高级陶瓷、高级技术陶瓷)-用接触探针轮廓仪测定陶瓷膜的厚度
  • NF EN ISO 18452:2016 技术陶瓷 使用接触式轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度
  • UNE-EN ISO 18452:2016 精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷)-通过接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度
术语描述
精细陶瓷
Fine ceramics
也称为先进陶瓷,指具有特定微观结构和高性能的高技术陶瓷材料。
基底
Substrate
承载陶瓷薄膜的基础材料表面,如玻璃、金属或陶瓷片。
触针
Stylus
接触式轮廓仪中用于接触样品表面并传递位移信号的尖端部件,通常由金刚石制成,具有特定的半径(如2、5、10或12.5微米)。
台阶宽度
Step width
在轮廓图中,从涂层开始到涂层结束的横向距离,通常指从点B到点C的距离。
最小二乘法
Method of least squares
用于从代表点计算两条水平拟合直线的数学方法,通过确定直线位置来准确计算台阶高度,消除表面粗糙度的影响。

DIN EN ISO 18452:2016-09

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标准号
DIN EN ISO 18452:2016-09
发布
2016年
总页数
15页
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN EN ISO 18452:2016-09
 
 
引用标准
ISO 3274

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接触式轮廓仪

符合ISO 3274标准,配备金刚石触针(半径2 ?m, 5 ?m, 10 ?m或12.5 ?m,锥角60°或90°)
用于扫描样品表面并获取高度轮廓的仪器,需使用校准标准件进行校准,确保测量精度。

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