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美利体育登录入口官网:DIN EN ISO 18452:2016-09
精细陶瓷(先进陶瓷、先进技术陶瓷) 用接触式探针轮廓仪测定陶瓷薄膜的厚度

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Determination of thickness of ceramic films by contact-probe profilometer (ISO 18452:2005); German version EN ISO 18452:2016


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高精度探针式轮廓仪

高精度探针式轮廓仪

深圳市中图仪器股份有限公司

 

DIN EN ISO 18452:2016-09

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标准号
DIN EN ISO 18452:2016-09
发布
2016年
总页数
15页
发布单位
德国标准化学会
当前最新
DIN EN ISO 18452:2016-09
 
 
引用标准
ISO 3274

本国际标准规定了一种使用接触式轮廓仪测定陶瓷薄膜厚度的方法。该方法适用于厚度在 10 nm 至 10 000 nm 范围内的陶瓷薄膜。注意:该方法要求涂层区域与未涂层区域(基底)之间存在明显且轮廓清晰的边界。

术语 
精细陶瓷 Fine ceramics
基底 Substrate
触针 Stylus
台阶宽度 Step width
最小二乘法 Method of least squares

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接触式轮廓仪

符合ISO 3274标准,配备金刚石触针(半径2 ?m, 5 ?m, 10 ?m或12.5 ?m,锥角60°或90°)
用于扫描样品表面并获取高度轮廓的仪器,需使用校准标准件进行校准,确保测量精度。

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