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美利体育登录入口官网:DIN EN ISO 18452 E:2015-11
精密陶瓷(高级陶瓷、高级工业陶瓷) 用接触式探针轮廓测定仪测定陶瓷覆层厚度(草案)

Precision ceramics (advanced ceramics, advanced industrial ceramics) Determination of ceramic coating thickness using contact probe profilometer (draft)


标准号
DIN EN ISO 18452 E:2015-11
发布
2015年
总页数
27页
发布单位
德国标准化学会
替代标准
DIN EN ISO 18452:2016
当前最新
DIN EN ISO 18452:2016-09
 
 
引用标准
ISO 3274
 
 
本体
细陶瓷
适用范围
本国际标准规定了一种使用接触探针轮廓仪测定细陶瓷膜和陶瓷涂层膜厚的方法。该方法适用于10 nm至10000 nm范围内的膜厚。注:该方法要求基底材料的 coated 部分和 uncoated 部分之间存在清晰且明显形成的边界。
术语描述
细陶瓷膜
fine ceramic film
由细陶瓷材料制成的涂层,薄薄地覆盖在基底表面。示例材料包括氧化物、碳化物、氮化物等,通过真空蒸发、溅射、化学气相沉积等方法沉积。
基底
substrate
作为涂层基础的材料表面,如玻璃等。
台阶高度
step height
涂层区域与未涂层区域之间的高度差,用于计算膜厚。
探针
contact probe
轮廓仪中用于扫描表面的接触部件,通常由金刚石制成,具有圆锥形尖端。
表面粗糙度
surface roughness
表面的微观不平度,用Ra值表示,影响测量结果的准确性。

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接触探针轮廓仪

符合ISO 3274标准
用于通过接触方式扫描表面并测量轮廓高度的美利体育官网首页网址,需配备金刚石探针,尖端角度为60°或90°,半径可选2μm、5μm、10μm或12.5μm。

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