美利体育登录入口官网:GB/T 12964-2018
硅单晶抛光片
Monocrystalline silicon polished wafers
GBT12964-2018, GB12964-2018
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- 标准号
- GB/T 12964-2018
- 别名
- GBT12964-2018, GB12964-2018
- 发布
- 2018年
- 国际标准分类(ICS)
- 29.045 半导体材料
- 总页数
- 10页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 12964-2018
- 引用标准
- GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 12965 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 1550 GB/T 19921 GB/T 24578 GB/T 2828.1-2012 GB/T 29507 GB/T 32279 GB/T 32280 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6621 GB/T 6624 YS/T 26 YS/T 28 YS/T 679
- 被代替标准
- GB/T 12964-2003
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶抛光片(简称硅抛光片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。 本标准适用于直拉法、悬浮区熔法(包括中子变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于制作集成电路、分立元件、功率器件等，或作为硅外延片的衬底。
美利体育登录入口官网: GB/T 12964-2018 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| X射线荧光光谱仪 GB/T24578 | 用于美利体育登录入口官网硅片表面金属沾污。 |
| 自动非接触扫描仪 GB/T29507 | 用于测量硅片平整度、厚度变化等几何参数。 |
| 非接触涡流仪 GB/T6616 | 用于测试硅片电阻率及薄膜电阻。 |
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