美利体育登录入口官网:GB/T 6624-2009
硅抛光片表面质量目测检验方法
Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
GBT6624-2009, GB6624-2009
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- 标准号
- GB/T 6624-2009
- 别名
- GBT6624-2009, GB6624-2009
- 发布
- 2009年
- 国际标准分类(ICS)
- 29.045 半导体材料
- 总页数
- 5页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 6624-2009
- 引用标准
- GB/T 14264
- 被代替标准
- GB/T 6624-1995
- 适用范围
- 本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
美利体育登录入口官网: GB/T 6624-2009 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 净化室 净化级别不低于100级 | 用于减少颗粒污染的无尘环境。 |
| 大面积漫射光源 调节光强度的荧光灯或乳白灯 | 提供均匀光照，避免直射光线干扰观察。 |
| 高强度汇聚光源 照度不小于230,000lux | 用于提供高强光以照射抛光片表面，美利体育登录入口官网缺陷。 |