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美利体育登录入口官网:ASTM E1162-11(2019)
二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程

Standard Practice for Reporting Sputter Depth Profile Data in Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)

美利体育登录入口官网: ASTM E1162-11(2019) 发布历史

ASTM E1162-11(2019)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2019-11-01。

ASTM E1162-11(2019)在国际标准分类中归属于: 71.040.50 物理化学分析方法。

ASTM E1162-11(2019) 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程的最新版本是哪一版？

最新版本是 ASTM E1162-11(2019) 。

ASTM E1162-11(2019) 发布之时，引用了标准

• ASTM E673 与表面分析相关的标准术语

ASTM E1162-11(2019)的历代版本如下：

• 2019年 ASTM E1162-11(2019) 二次离子质谱法（SIMS）中溅射深度剖面数据报告的标准实施规程
• 2011年 ASTM E1162-11 报告次级离子质谱分析法(SIMS)中溅深深度文件数据的标准操作规程
• 2006年 ASTM E1162-06 报告次级离子质谱法(SIMS)中溅射深度截面数据的标准实施规程
• 1987年 ASTM E1162-87(2001) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据
• 1987年 ASTM E1162-87(1996) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据

本文件规定了描述和报告二次离子质谱（SIMS）溅射深度剖面分析所需的信息，涵盖仪器参数、试样参数、实验条件及数据归一化程序。该实践适用于采用多种初级束激发条件、质量分析、数据采集及处理技术获得的常规溅射深度剖面，其中信息为分析平面内区域的平均值。

本文件不适用于具备面内空间分辨能力的离子微探针或显微镜技术，例如图像深度剖面分析。文件中所有数值均采用国际单位制（SI），其他计量单位未包含在内。

本文件未涵盖所有与使用相关的安全问题。使用者有责任建立适当的安全、健康及环境实践，并在使用前确定适用性法规限制。本文件的制定遵循了国际标准化原则。

标准号

ASTM E1162-11(2019)

发布

2019年

ICS

71.040.50

总页数

3页

当前最新

ASTM E1162-11(2019)

 

 

引用标准

ASTM E673

 

 

本体

二次离子质谱法

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