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美利体育登录入口官网:溅射靶材的标准规范有哪些？

发布时间：2026-09-21

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溅射靶材：溅射靶材是作为阴极材料用于溅射沉积工艺，通过物理过程在基底上形成薄膜。它是在物理气相沉积过程中用作源材料的固体靶，通过离子轰击溅射沉积薄膜。在真空环境中，通过离子轰击使靶材表面原子剥离并沉积到基板上形成薄膜。它用于半导体、显示器等领域薄膜沉积，由高纯铜铸造加工而成。

 

溅射靶材相关标准共10份，包含现行有效、已替代、已作废等。

在国际标准分类中，溅射靶材涉及到的分类有：其他有色金属产品等。

溅射靶材涉及到的各类执行标准、规范如下(标准的数量，基本排除已被替代的标准，下同)：

未分类	规范标准
8	2

以下国家标准机构或者组织发布了溅射靶材相关的标准规范，统计数据如下：

行业标准-有色金属	国家市场监督管理总局
9	1

美利体育登录入口官网:按标准类别列表如下：

规范标准

溅射靶材都有哪些执行标准、规范？

标准号	标准名称	发布机构
YS/T 1683-2024	磁记录用铬钛合金溅射靶材	行业标准-有色金属
GB/T 26307-2025	银靶材	国家市场监督管理总局

未分类

以下标准未给出明确分类。共计8 个，更多>>

标准号	标准名称	发布机构
YS/T 819-2012	电子薄膜用高纯铜溅射靶材	行业标准-有色金属
YS/T 919-2025	高纯铜铸锭	行业标准-有色金属
YS/T 1516-2022	高纯镍铸锭	行业标准-有色金属
YS/T 1236-2018	超高纯钛锭	行业标准-有色金属
YS/T 1358-2020	磁记录用铁钴钽合金溅射靶材	行业标准-有色金属
YS/T 1025-2015	电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材	行业标准-有色金属

美利体育登录入口官网:标准本体“溅射靶材”有关的标准，按发布机构统计：

机构代码	机构名称	“溅射靶材”标准数量	类型
CN-YS	行业标准-有色金属	9	规范、其它
CN-GB	国家市场监督管理总局	1	规范