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美利体育登录入口官网:靶坯的标准规范有哪些？

发布时间：2026-09-21

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靶坯：靶坯是用于制备溅射薄膜的阴极材料，通常以高纯等静压石墨等为原料加工而成。它是溅射靶材的毛坯件，在焊接或进一步成型前，可化学分析成分和美利体育登录入口官网微观结构。作为靶材的核心组成部分，靶坯的质量直接影响到薄膜沉积过程的稳定性和产品质量。

 

靶坯相关标准共11份，包含现行有效、已替代、已作废等。

在国际标准分类中，靶坯涉及到的分类有：其他有色金属产品等。

靶坯涉及到的各类执行标准、规范如下(标准的数量，基本排除已被替代的标准，下同)：

未分类	规范标准
8	2

以下国家标准机构或者组织发布了靶坯相关的标准规范，统计数据如下：

行业标准-有色金属	国家市场监督管理总局	行业标准-建材
8	1	1

美利体育登录入口官网:按标准类别列表如下：

规范标准

靶坯都有哪些执行标准、规范？

标准号	标准名称	发布机构
GB/T 23611-2023	金及金合金靶材	国家市场监督管理总局
YS/T 1234-2018	铬钼合金（CrMo）靶材	行业标准-有色金属

未分类

以下标准未给出明确分类。共计8 个，更多>>

标准号	标准名称	发布机构
YS/T 936-2013	集成电路器件用镍钒合金靶材	行业标准-有色金属
YS/T 937-2025	镍铂靶材	行业标准-有色金属
YS/T 1776-2025	热敏打印用碳-碳化硅靶材	行业标准-有色金属
YS/T 1811-2025	高纯钛铝合金靶材	行业标准-有色金属
JC/T 3028-2026	高纯石墨靶材	行业标准-建材
YS/T 1129-2016	钨钛合金靶材	行业标准-有色金属

美利体育登录入口官网:标准本体“靶坯”有关的标准，按发布机构统计：

机构代码	机构名称	“靶坯”标准数量	类型
CN-GB	国家市场监督管理总局	1	规范
CN-YS	行业标准-有色金属	8	规范、其它
CN-JC	行业标准-建材	1	其它