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美利体育登录入口官网:GB/T 26307-2025
银靶材

Silver Target Material

GBT26307-2025, GB26307-2025

正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证

标准号
GB/T 26307-2025
别名
GBT26307-2025, GB26307-2025
发布
2025年
国际标准分类(ICS)
77.150.99 其他有色金属产品   
总页数
11页
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 26307-2025
 
 
引用标准
GB/T 1031 GB/T 15077 GB/T 36590 GB/T 39810 GB/T 4135 GB/T 6394 GB/T 8651 YS/T 837
被代替标准
GB/T 26307-2010
 
 
本体
溅射靶材 背板
适用范围
本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单。 本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的银靶材参照使用。
术语描述
靶材
target
溅射沉积技术中的阴极部分。注:该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。
靶坯
target blank
阴极上用作目标材料的部分。
背板
backing plate
用来支撑或固定靶坯的部分。注:靶材与背板通过钎焊的方式连接。

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超声波探伤仪
用于美利体育登录入口官网靶材内部质量,按GB/T 8651标准进行内部质量检验

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