美利体育登录入口官网:IEC 62047-38:2021
半导体器件-微机电器件-第38部分：MEMS互连中金属粉末浆料粘合强度的测试方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 38: Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection
- 标准号
- IEC 62047-38:2021
- 发布
- 2021年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.080.99 其他半导体分立器件
- 总页数
- 16页
- 中文版
- GB/T 42709.38-2026 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-38:2021
- 代替标准
- IEC 47F/378/FDIS:2021
- 本体
- 微机电系统 粘结强度
- 适用范围
- IEC 62047的本部分规定了测量微机电系统（MEMS）和电路板之间电气互连中金属粉末浆料粘附强度的测试方法。金属粉末浆料的典型例子是各向异性导电浆料
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 接触载荷 Contact load | 透镜与金属粉末浆料接触时的预定力，单位为牛顿（N）。 |
| 最大拉力 Maximum pulling force | 测试样品所能承受的最大拉力，单位为牛顿（N）。 |
| 仅含金属粉末的接触面积 Contact area only with metal powder | 当施加接触载荷时，仅由金属粉末形成的接触面积，单位为平方米（m?）。 |
| 含金属粉末浆料的接触面积 Contact area with metal powder paste | 当施加接触载荷时，由金属粉末浆料形成的接触面积，单位为平方米（m?）。 |
| 分离速度 Separation speed | 测试样品从透镜上回拉的预定速度，单位为微米/秒（?m/s）。 |
| 接触半径 Contact radius | 假设含金属粉末浆料的接触面积为圆形时的接触半径，单位为米（m）。 |
| 曲率半径 Radius of curvature | 模拟实际器件的玻璃透镜的曲率半径，单位为米（m）。 |
美利体育登录入口官网: IEC 62047-38:2021 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 光学显微镜和CCD相机 放大倍数20倍或更高 | 用于记录接触面积的光学图像，记录速度需大于30 Hz，用于分析接触面积的变化。 |
| 力传感器 loadcell | 在测试过程中测量力的美利体育官网首页网址。 |
| 测试机 | 用于执行测试的机器，包含Z轴电动移动台、力传感器、光学显微镜和CCD相机，用于施加压缩载荷并分离透镜。 |
| 玻璃透镜 具有几毫米曲率半径 | 固定在测试腔顶部的工具，模拟实际MEMS器件，用于对金属粉末浆料施加接触载荷。可涂覆金（Au）或铝（Al）薄膜以模拟电极材料。 |
| 精密3轴移动台 | 用于将测试样品移动至玻璃透镜进行加载，并向下移动以进行卸载分离。 |