美利体育登录入口官网:GB/T 42709.2-2026
半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 2: Test method for tensile testing of thin films
GBT42709.2-2026, GB42709.2-2026
2026-11-01
正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证
- 标准号
- GB/T 42709.2-2026
- 别名
- GBT42709.2-2026, GB42709.2-2026
- 发布
- 2026年
- 国际标准分类(ICS)
- 31.200 集成电路、微电子学
- 采用标准
- IEC 62047-2:2006 IDT
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 42709.2-2026
- 引用标准
- GB/T 228
- 本体
- 薄膜材料 试验片
- 适用范围
- 本文件描述了长度和宽度均小于标准规定值、厚度小于标准规定值的薄膜材料的拉伸试验方法。该类薄膜材料是微机电系统、微机械和同类微型器件的主要结构材料。微机电系统、微机械和同类微型器件使用的薄膜结构材料具有特殊特征，如典型尺寸为微米级、材料采用淀积工艺制备、试验片通过刻蚀和光刻等非机械加工工艺制备。本文件规定的试验方法能保证这类特殊性材料试验结果的准确性。
美利体育登录入口官网: GB/T 42709.2-2026 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| X射线荧光测厚仪 | 用于采用X射线荧光方法测量薄膜厚度。 |
| 干涉仪 | 用于非接触光学测量薄膜厚度。 |
| 椭偏仪 | 用于非接触光学测量薄膜厚度。 |
| 光刻美利体育官网首页网址 | 用于制备试验片和光刻掩膜。 |
| 加载单元 | 用于测量拉伸试验过程中施加的力，应保证抗拉强度测量精度。 |
| 压电驱动器 | 用于实现低位移速率加载拉伸力。 |
| 双视场显微镜 | 可将两个相距较远的测量标记整合到一个视野内同时美利体育登录入口官网。 |
| 拉伸试验美利体育官网首页网址 | 用于对薄膜试验片施加拉伸载荷并记录力与位移的试验美利体育官网首页网址。 |
| 探针式轮廓仪 | 用于测量试验片厚度或附近窗口台阶高度。 |
| 真空卡盘 | 用于固定安装试验片的基座。 |
| 磁致伸缩驱动机构 | 用于实现低位移速率加载拉伸力。 |
| 静电卡盘 | 用于固定安装试验片的基座。 |
| 非接触式光学伸长测量系统 | 用于测量试验片标距范围内的伸长量，可采用激光干涉或双视场显微镜。 |
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