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美利体育登录入口官网:GB/T 6624-2009
硅抛光片表面质量目测检验方法

Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

GBT6624-2009, GB6624-2009


美利体育登录入口官网: GB/T 6624-2009 发布历史

GB/T 6624-2009由国家市场监督管理总局 国家标准化管理员会 CN-GB 发布于 2009-10-30,并于 2010-06-01 实施。

GB/T 6624-2009 在中国标准分类中归属于: H80 半金属与半导体材料综合,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法的最新版本是哪一版?

最新版本是 GB/T 6624-2009 。

GB/T 6624-2009 发布之时,引用了标准

  • GB/T 14264 半导体材料术语*, 2024-04-25 更新

* 在 GB/T 6624-2009 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。

GB/T 6624-2009的历代版本如下:

 

本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

单晶抛光片
Single Crystal Polished Wafer
一种经过抛光处理的单晶硅片,用于电子器件制造。
目测检验
Visual Inspection
通过人眼观察进行的质量检查方法。

GB/T 6624-2009

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标准号
GB/T 6624-2009
别名
GBT6624-2009
GB6624-2009
发布
2009年
ICS
29.045
总页数
5页
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 6624-2009
 
 
引用标准
GB/T 14264
被代替标准
GB/T 6624-1995

美利体育登录入口官网: GB/T 6624-2009 中提到的仪器美利体育官网首页网址

净化室
净化级别不低于100级
用于减少颗粒污染的无尘环境。
大面积漫射光源
调节光强度的荧光灯或乳白灯
提供均匀光照,避免直射光线干扰观察。
高强度汇聚光源
照度不小于230,000lux
用于提供高强光以照射抛光片表面,美利体育登录入口官网缺陷。

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