美利体育登录入口官网:T/CESA 1081-2020
半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer
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- 标准号
- T/CESA 1081-2020
- 发布
- 2020年
- ICS
-
13.020.01
- 总页数
- 22页
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CESA 1081-2020
- 引用标准
- GB 17167 GB 18580 GB 18581 GB 18582 GB 18583 GB 18584 GB 18585 GB 18586 GB 18587 GB 18588 GB 18597 GB 18599 GB 18613 GB 19153 GB 19577 GB 19761 GB 20052 GB 24789 GB 24790 GB 50034 GB 50472 GB 50809 GB 6566 GB/T 19001 GB/T 20862-2007 GB/T 23331 GB/T 23685 GB/T 24001 GB/T 24256 GB/T 26572 GB/T 29115 GB/T 31274 GB/T 32150 GB/T 34664 GB/T 36132-2018 GB/T 45001 GB/T 7119 RB/T 101 SJ/T 11364 SJ/T 16000 SJ/Z 11388
- 本体
- 半导体集成电路 绿色工厂
本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。 本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。
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