美利体育登录入口官网:T/CESA 1081-2020
半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer
标准核心框架解析
| 评价维度 | 必选要求 | 可选要求 | 权重 |
|---|---|---|---|
| 基础设施 | 建筑合规/专用美利体育官网首页网址准入 | 智能化管理/可再生能源利用 | 20% |
| 能源资源 | 节水评价/有害物质管控 | 余热利用/材料替代方案 | 15% |
| 环境排放 | 污染物达标排放 | 温室气体核查公示 | 10% |
关键技术要求
典型控制指标：8英寸晶圆单位产品总砷产生量≤0.33mg/cm?（3级）、新鲜水用量≤11.3L/cm?，需配套VOC处理装备和多级逆流漂洗系统
创新实践：某12英寸晶圆厂通过安装地源热泵系统，使可再生能源占比提升至15%，单位产值碳排放降至300kgCO?e/万元
实施建议
- 建立跨部门绿色工厂推进小组，整合ISO 14001/GB/T 23331管理体系
- 重点监控臭氧层消耗物质（ODS）和氢氟酸使用量，优先采用湿法清洗替代技术
- 定期开展生态设计评审，参照GB/T 34664优化产品可回收性
行业演进趋势
本标准响应《中国制造2025》绿色制造工程要求，相较于2018版通则新增：
- 晶圆尺寸差异化指标（8/12英寸）
- 半导体特有物质（砷、氢氟酸）控制要求
- ODS消解美利体育官网首页网址的技术规范
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- 标准号
- T/CESA 1081-2020
- 发布
- 2020年
- ICS
-
13.020.01
- 总页数
- 22页
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CESA 1081-2020
- 引用标准
- GB 17167 GB 18580 GB 18581 GB 18582 GB 18583 GB 18584 GB 18585 GB 18586 GB 18587 GB 18588 GB 18597 GB 18599 GB 18613 GB 19153 GB 19577 GB 19761 GB 20052 GB 24789 GB 24790 GB 50034 GB 50472 GB 50809 GB 6566 GB/T 19001 GB/T 20862-2007 GB/T 23331 GB/T 23685 GB/T 24001 GB/T 24256 GB/T 26572 GB/T 29115 GB/T 31274 GB/T 32150 GB/T 34664 GB/T 36132-2018 GB/T 45001 GB/T 7119 RB/T 101 SJ/T 11364 SJ/T 16000 SJ/Z 11388
- 本体
- 半导体集成电路 绿色工厂
本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。 本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。
美利体育登录入口官网: T/CESA 1081-2020 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| VOC处理装备 适用于生产规模 | 用于处理挥发性有机化合物的美利体育官网首页网址。 |
| 能源管理中心 自动化、信息化技术 | 对用能单位能源结构的购入存储、加工转换、输送分配、终端使用环节和能源计量器具实施集中动态监控和数字化管理，通过能效分析、管理、考核，实现用能单位节能降耗的管控一体化。 |