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半导体晶圆缺陷自动光学美利体育登录入口官网美利体育官网首页网址

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标准号
T/CZSBDTHYXH 001-2023
发布
2023年
国际标准分类(ICS)
29.045 半导体材料   
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CZSBDTHYXH 001-2023
 
 
适用范围
本标准规定了半导体晶圆缺陷光学美利体育登录入口官网仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。

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