半导体制造美利体育官网首页网址是用于半导体产品制造、测量、组装和测试的机器、系统及其组件的总称，涵盖洁净室内的工艺美利体育官网首页网址及循环气流区域。包括处理晶圆等基板的美利体育官网首页网址、零部件以及辅助支持美利体育官网首页网址（如化学控制器、真空泵、排放处理系统等），但不包含设施中支持多台美利体育官网首页网址的通用部件。
| 标准号 & 类别 | 标准名称 | 发布 |
|---|---|---|
| BS EN 60204-33:2011 规范 |
机械安全.机械的电气美利体育官网首页网址.半导体制造美利体育官网首页网址要求 Safety of machinery. Electrical equipment of machines. Requirements for semiconductor fabrication equipment
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2011-08-31 英国标准学会 |
| GB/T 29845-2013 试验规范 |
半导体制造美利体育官网首页网址的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则 Guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment
|
2013-11-12 国家市场监督管理总局 |
| IEC 60204-33:2009 规范 |
机械安全性.机器电动美利体育官网首页网址.第33部分:半导体制造美利体育官网首页网址要求 Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
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2009-12 国际电工委员会 |
| JIS B 9960-33:2012 规范 |
机械安全性.机械电气美利体育官网首页网址.第33部分:半导体制造美利体育官网首页网址要求 Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment
安全防护 |
2012-05-21 日本工业标准调查会 |
| SEMI E137-0705 (Reapproved 1111)-2011 指南标准 |
半导体制造美利体育官网首页网址的最终组装、包装、运输、拆箱和搬迁指南 GUIDE FOR FINAL ASSEMBLY, PACKAGING, TRANSPORTATION, UNPACKING, AND RELOCATION OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
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2011-9-12 国际半导体协会 |
| SEMI E49.1-1995 指南标准 |
GUIDE FOR TOOL FINAL ASSEMBLY, PACKAGING, AND DELIVERY
|
1995-1-1 国际半导体协会 |
| SEMI S13-0305-2005 指南标准 |
向美利体育官网首页网址用户提供的用于半导体制造美利体育官网首页网址的文件的环境、健康和安全指南 ENVIRONMENTAL, HEALTH AND SAFETY GUIDELINE FOR DOCUMENTS PROVIDED TO THE EQUIPMENT USER FOR USE WITH SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
|
2004-11-24 国际半导体协会 |
| SEMI S14-0309-2009 指南标准 |
SAFETY GUIDELINES FOR FIRE RISK ASSESSMENT AND MITIGATION FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
火灾风险 |
2009-1-2 国际半导体协会 |
| SEMI S16-0307-2007 指南标准 |
减少使用寿命结束时对环境影响的半导体制造美利体育官网首页网址设计指南 GUIDE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT DESIGN FOR REDUCTION OF ENVIRONMENTAL IMPACT AT END OF LIFE
去污 回收 |
2006-11-21 国际半导体协会 |
| SEMI S2-0310e-2012 指南标准 |
ENVIRONMENTAL, HEALTH, AND SAFETY GUIDELINE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
|
2011-12-24 国际半导体协会 |
| SEMI S22-1110b-2011 规范 |
SAFETY GUIDELINE FOR THE ELECTRICAL DESIGN OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
安全电路 |
2011-5-13 国际半导体协会 |
| SEMI S23-0311-2011 指南标准 |
半导体制造美利体育官网首页网址使用的能源、公用事业和材料节约指南 GUIDE FOR CONSERVATION OF ENERGY, UTILITIES AND MATERIALS USED BY SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
|
2011-2-3 国际半导体协会 |
| SEMI S28-1011-2011 指南标准 |
用于半导体制造美利体育官网首页网址的机器人和装载端口的安全指南 SAFETY GUIDELINE FOR ROBOTS AND LOAD PORTS INTENDED FOR USE IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
|
2011-9-12 国际半导体协会 |
| SEMI S3-1211-2011 规范 |
SAFETY GUIDELINE FOR PROCESS LIQUID HEATING SYSTEMS
传热流体 |
2011-9-12 国际半导体协会 |
| SEMI S6-0707-2007 规范 |
EHS GUIDELINE FOR EXHAUST VENTILATION OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
|
2007-4-25 国际半导体协会 |
| SEMI S8-0308-2008 规范 |
SAFETY GUIDELINES FOR ERGONOMICS ENGINEERING OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
人机工程学 |
2007-12-20 国际半导体协会 |
| UNE-EN 60204-33:2011 规范标准 |
机械安全 机械电气美利体育官网首页网址 第33部分：半导体制造美利体育官网首页网址的要求 Safety of machinery - Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (Endorsed by AENOR in December of 2011.)
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2011-12-01 西班牙标准化协会 |
| VDE 0113-33 E*DIN IEC 60204-33:2006-11 规范 |
IEC 44/519/CD:2006 安全机械 - 机械美利体育官网首页网址的电气美利体育官网首页网址 - 第33部分：半导体生产装置要求 Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC 44/519/CD:2006)
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2006-11-01 德国电气，电子和信息技术协会 |
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