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美利体育登录入口官网:GB/T 29845-2013
半导体制造美利体育官网首页网址的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

Guide for final assembly, packaging, transportation, unpacking, and relocation of semiconductor manufacturing equipment

GBT29845-2013, GB29845-2013

正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证

标准号
GB/T 29845-2013
别名
GBT29845-2013, GB29845-2013
发布
2013年
国际标准分类(ICS)
31.550 电子产品生产美利体育官网首页网址   
总页数
11页
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 29845-2013
 
 
引用标准
GB/T 25915.1 SEMI C41 2 SEMI F63
 
 
本体
半导体制造美利体育官网首页网址
适用范围
本标准给出了半导体制造美利体育官网首页网址(SME)在供应商工厂的最终装配(总装)、包装、运输以及在客户洁净室生产区的拆包和安放等特定活动指南。本标准适用于半导体制造美利体育官网首页网址、独立的组件和部件在供应商工厂的最终装配(总装)、包装和运输以及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程。本标准不包含与环境、健康和安全(EHS)相关的特殊要求,也不适用于与晶片粒子或晶片质量(如离子污染度)相关的加工过程规范。
术语描述
UPW
Ultrapore Water
超纯水,适用于半导体加工的高纯度要求。
SME
Semiconductor Manufacturing Equipment
半导体制造美利体育官网首页网址,涉及从晶圆处理到封装测试的多个环节。

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半导体制造美利体育官网首页网址主框架 美利体育官网首页网址的主要支撑结构,需符合洁净室环境要求。
振动指示器 用于监测运输过程中的震动情况。

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