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美利体育登录入口官网:JIS B 9960-33:2012
机械安全性.机械电气美利体育官网首页网址.第33部分:半导体制造美利体育官网首页网址要求

Safety of machinery -- Electrical equipment of machines -- Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

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标准号

JIS B 9960-33:2012

发布

2012年

国际标准分类(ICS)

13.110 机械安全   25.040.30 工业机器人、机械手   29.020 电气工程综合   

总页数

132页

发布单位

日本工业标准调查会

当前最新

JIS B 9960-33:2012

 

 

引用标准

IEC 60034-11-2004 IEC 60038 IEC 60072 IEC 60417 IEC 61508-3 IEC 61557-3-2007 IEC 61800-5-1-2007 JIS B 9700-2 JIS B 9705-1 JIS B 9706-1 JIS B 9706-2 JIS B 9706-3 JIS B 9712 JIS B 9961 JIS C 0445 JIS C 0446 JIS C 0447 JIS C 0448 JIS C 0617 JIS C 0920 JIS C 0922 JIS C 1010-1 JIS C 60364-4-41 JIS C 60364-4-43 JIS C 60364-6 JIS C 60695-11-10 JIS C 61558-1 JIS C 61558-2-6 JIS C 6950-1 JIS C 8201-3

 

 

本体

半导体制造美利体育官网首页网址 安全防护

适用范围

本标准适用于与用于半导体制造、测量、组装和测试的半导体制造美利体育官网首页网址（见定义3.28）相关的电气和电子美利体育官网首页网址（见定义3.20）。

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