美利体育登录入口官网:BS ISO 18114:2021
表面化学分析 二次离子质谱 离子注入参考材料的相对灵敏度因子的测定
Surface chemical analysis. Secondary-ion mass spectrometry. Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
- 标准号
- BS ISO 18114:2021
- 发布
- 2021年
- 国际标准分类(ICS)
- 71.040.40 化学分析
- 总页数
- 14页
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS ISO 18114:2021
- 引用标准
- ISO 18115
- 本体
- 二次离子质谱法 相对灵敏度因子
- 适用范围
- 本文件规定了从离子注入参考材料中确定二次离子质谱法（SIMS）相对灵敏度因子（RSFs）的方法。该方法适用于基质化学组成均匀且注入物种的峰值浓度不超过1原子百分比的样品。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 相对灵敏度因子 Relative sensitivity factor (RSF) | 用于在二次离子质谱法中定量分析元素浓度的因子，通过比较参考材料和样品中的离子信号强度来确定。 |
| 二次离子质谱法 Secondary-ion mass spectrometry (SIMS) | 用于表面化学分析的技术，通过溅射样品表面并分析产生的二次离子来测定样品的成分。 |
| 离子注入参考材料 Ion-implanted reference materials | 用于校准和定量分析的参考材料，其中特定元素通过离子注入技术被引入到基质材料中。 |
| 基质 Matrix | 样品中的主要材料成分，其中包含待分析的元素。 |
| 原子浓度 Atomic concentration | 样品中某元素的原子数量与总原子数量的比率。 |
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| 二次离子质谱仪 未指定 | 用于进行二次离子质谱分析的仪器，能够获取深度剖面数据。 |