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美利体育登录入口官网:DIN 50989-1:2018
椭偏仪.第1部分:原理;德文和英文文本

Ellipsometry - Part 1: Principles; Text in German and English


标准号
DIN 50989-1:2018
发布
2018年
国际标准分类(ICS)
19.100 无损美利体育登录入口官网   
总页数
35页
发布单位
德国标准化学会
替代标准
DIN 50989-1:2018-02
当前最新
DIN 50989-1:2018-03
 
 
引用标准
DIN EN ISO/IEC 17025:2005 ISO/IEC Guide 98-3:2008
被代替标准
DIN 50989-1:2017
 
 
本体
光学常数 层厚度
适用范围
该标准涉及椭圆光度法,这是一种在在线生产控制、质量保证和材料开发范围内确定 UV-VIS-NIR 光谱范围内的光学和介电常数以及层厚度的方法。
术语描述
偏振器
polarizer
用于产生偏振光的美利体育官网首页网址。
补偿器
compensator
用于调整光相位延迟的美利体育官网首页网址。
样品
sample
被测量的材料或物体。
分析器
analyzer
用于分析偏振光的美利体育官网首页网址。
入射角
angle of incidence
光入射到样品表面的角度。

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椭偏仪

P-S-A, P-C-S-A, P-S-C-A, P-C-S-C-A
用于测量光学和介电常数以及层厚度的仪器。

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