美利体育登录入口官网:DIN 50989-1:2018
椭偏仪.第1部分:原理;德文和英文文本
Ellipsometry - Part 1: Principles; Text in German and English
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- 标准号
- DIN 50989-1:2018
- 发布
- 2018年
- ICS
-
19.100
- 总页数
- 35页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50989-1:2018-02
- 当前最新
- DIN 50989-1:2018-03
- 引用标准
- DIN EN ISO/IEC 17025:2005 ISO/IEC Guide 98-3:2008
- 被代替标准
- DIN 50989-1:2017
- 本体
- 光学常数 层厚度
该标准涉及椭圆光度法，这是一种在在线生产控制、质量保证和材料开发范围内确定 UV-VIS-NIR 光谱范围内的光学和介电常数以及层厚度的方法。
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| 椭偏仪 P-S-A, P-C-S-A, P-S-C-A, P-C-S-C-A | 用于测量光学和介电常数以及层厚度的仪器。 |
