美利体育登录入口官网:DIN 50989-1:2018
椭偏仪.第1部分:原理;德文和英文文本
Ellipsometry - Part 1: Principles; Text in German and English
美利体育登录入口官网: DIN 50989-1:2018 发布历史
DIN 50989-1:2018由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2018-03-00。
DIN 50989-1:2018 在中国标准分类中归属于: N70 试验机与无损探伤仪器综合，在国际标准分类中归属于: 19.100 无损美利体育登录入口官网。
DIN 50989-1:2018 椭偏仪.第1部分:原理;德文和英文文本的最新版本是哪一版？
最新版本是 DIN 50989-1:2018-03 。
- 标准号
- DIN 50989-1:2018-03
- 发布时间
- 2018-03
- 标准名称
- 椭圆偏振法 第1部分：原理
- ICS
- 19.100
- 发布机构
- 德国标准化学会 (DIN Deutsches Institut für Normung e. V.)
- 专利声明（未识别专利）
- 指出本文件的某些要素可能涉及专利权。DIN 不负责识别任何或所有此类专利权。
- 提出和归口信息
- 由德国标准化学会材料测试委员会 (NMP) 下属的 NA 062-01-61 AA 工作组“涂层和涂层系统的测量和测试方法”制定。
- 编制原因和目的
- 椭圆偏振法是一种相位敏感的反射测量技术，用于确定光学和介电常数以及涂层厚度。本部分作为基。娑瞬饬糠椒、边界条件、模型及相关验证程序，适用于在线生产控制、质量保证、材料开发及认可测试实验室，特别是针对独立测量系统，并特别关注符合 GUM 的结果不确定度表示。
- 技术内容特殊信息
- 椭圆偏振法是一种间接测量方法，其分析基于模型优化。测量结果（Ψ和Δ）的精度很高，对于理想的涂层-基底系统，厚度灵敏度可达0.1 nm。绝对精度主要取决于描述材料表面所选模型的质量。
- 分部分标准的各部分关系
- DIN 50989 椭圆偏振法系列标准包含以下部分：第1部分：原理；第2部分：体材料；第3部分：透明单层；第4部分：半透明单层；第5部分：多层和周期性层；第6部分：有效材料。其中第2至第6部分当时处于制定中。
DIN 50989-1:2018 发布之时，引用了标准
- DIN EN ISO/IEC 17025:2005 测试和校准实验室能力的一般要求
- ISO/IEC Guide 98-3:2008 测量的不确定性.第3部分:测量不确定性的表达指南(GUM-1995)
DIN 50989-1:2018的历代版本如下：
- 2018年 DIN 50989-1:2018-03 椭圆偏振仪 第1部分：原理
- 2018年 DIN 50989-1:2018-02 椭圆偏振仪 第一部分：原理；德语和英语文本
- 2018年 DIN 50989-1:2018 椭偏仪.第1部分:原理;德文和英文文本
- 2017年 DIN 50989-1 E:2017-04 椭偏仪 第1部分：原理
- 2017年 DIN 50989-1 E:2017 椭偏仪 第1部分：原理 草案
该标准涉及椭圆光度法，这是一种在在线生产控制、质量保证和材料开发范围内确定 UV-VIS-NIR 光谱范围内的光学和介电常数以及层厚度的方法。
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- 标准号
- DIN 50989-1:2018
- 发布
- 2018年
- ICS
-
19.100
- 总页数
- 35页
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50989-1:2018-02
- 当前最新
- DIN 50989-1:2018-03
- 引用标准
- DIN EN ISO/IEC 17025:2005 ISO/IEC Guide 98-3:2008
- 被代替标准
- DIN 50989-1:2017
- 本体
- 光学常数 层厚度
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