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美利体育登录入口官网:ASTM E1127-08(2015)
俄歇电子能谱学中的深度压形的标准指南

Standard Guide for Depth Profiling in Auger Electron Spectroscopy


标准号
ASTM E1127-08(2015)
发布
2008年
国际标准分类(ICS)
71.040.50 物理化学分析方法   
总页数
5页
替代标准
ASTM E1127-24
当前最新
ASTM E1127-24
 
 
引用标准
ASTM E1078 ASTM E1577 ASTM E1634 ASTM E1636 ASTM E1829 ASTM E673 ASTM E684 ASTM E827 ASTM E996
 
 
本体
俄歇电子能谱 深度剖析

本文件规定了俄歇电子能谱深度剖析的程序。该标准适用于分析固体表面近表面区域的化学成分及物理状态，涵盖非破坏性深度剖析技术。

文件提供了针对不同深度范围的分析指南：离子溅射法主要适用于深度小于1微米的区域；角度研磨或机械刻蚀法适用于深度大于1微米的区域；网格复型法亦包含在内。深度剖析方法的选择需依据表面粗糙度、界面粗糙度及膜层厚度等因素确定。

此外，本文件还涉及利用逻辑函数测量深度剖析界面宽度的方法，并规定了以国际单位制（SI）为标准的数值体系。

深度剖析
depth profiling		通过物理或化学方法逐层去除材料表面，并结合俄歇电子能谱分析，以获取材料表面以下化学成分随深度分布的技术。
离子溅射
ion sputtering		利用离子束轰击样品表面，使表面原子或分子被溅射出来，从而逐层去除材料以进行深度分析的技术。
俄歇电子能谱
Auger electron spectroscopy		一种表面分析技术，通过美利体育登录入口官网样品表面原子受激发后发射的俄歇电子，来确定表面区域的化学成分和物理状态。

美利体育登录入口官网: ASTM E1127-08(2015) 中提到的仪器美利体育官网首页网址

俄歇电子能谱仪
用于进行俄歇电子能谱分析的美利体育官网首页网址，配备有离子溅射枪，用于深度剖析实验。
机械轮廓仪
用于测量溅射凹坑深度的机械探针式轮廓仪。
法拉第杯
用于测量离子束电流密度和校准离子束的美利体育官网首页网址。
离子溅射枪
产生聚焦离子束的美利体育官网首页网址，用于轰击样品表面以去除材料层。

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