美利体育登录入口官网

美利体育登录入口官网:GB/T 32495-2016
表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

Surface chemical analysis.Secondary-ion mass spectrometry.Method for depth profiling of arsenic in silicon

GBT32495-2016, GB32495-2016

正版授权中国标准出版社正式授权销售可通过授权方官方渠道验证

标准号
GB/T 32495-2016
别名
GBT32495-2016, GB32495-2016
发布
2016年
国际标准分类(ICS)
71.040.40 化学分析   
发布单位
国家市场监督管理总局
当前最新
GB/T 32495-2016
 
 
引用标准
GB/T 20176-2006 GB/T 22461-2008 GB/T 25186-2010 ISO 18115-1
适用范围
本标准详细规定了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中砷进行深度剖析的方法，以及用触针式轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。本标准适用于砷原子浓度范围从1 × 1016 atoms/cm3~2.5 × 1021 atoms/cm3的单晶硅、多晶硅、非晶硅样品，坑深在50 nm及以上。

美利体育登录入口官网: 专题

离子 质谱 分析 质谱的深度 次级离子质谱 分析法 次级离子质谱分析法 二次离子谱法 二次离子质谱 氧 质谱 分析 仪 离子 二次电子 质谱 二次电子质谱 二次离子质谱操作 二次离子质谱b 二次粒子质谱

美利体育登录入口官网: GB/T 32495-2016相似标准

BS ISO 12406:2010 表面化学分析.二次离子质谱分析法.硅中砷的深度剖析法 ISO 12406:2010 表面化学分析.二次离子质谱分析法.硅中砷的深度剖析法 10/30199169 DC BS ISO 12406 表面化学分析 二次离子质谱法 硅中砷的深度剖析方法 GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法 GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

美利体育登录入口官网: 推荐

标准委发布一批分析检验美利体育登录入口官网方法标准

　　美利体育登录入口官网讯 近日，国家标准委发布了一批国家推荐标准，其中包括表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法（GB/T 32495-2016）、钢铁锡、锑、铈、铅和铋的测定电感耦合等离子体质谱法（GB/T 32548-2016）等一批分析检验美利体育登录入口官网标准，详情如下：　　表：国家标准委发布相关标准...


Copyright ?2007-2026 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号
页面更新时间: 2026-09-10 18:43

美利体育(meili)官方网站_美利体育手机版下载