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美利体育登录入口官网:GB/T 32495-2016
表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

Surface chemical analysis.Secondary-ion mass spectrometry.Method for depth profiling of arsenic in silicon

GBT32495-2016, GB32495-2016

美利体育登录入口官网: GB/T 32495-2016 发布历史

GB/T 32495-2016由国家市场监督管理总局 国家标准化管理员会 CN-GB 发布于 2016-02-24，并于 2017-01-01 实施。

GB/T 32495-2016 在中国标准分类中归属于: G04 基础标准与通用方法，在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。

GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法的最新版本是哪一版？

最新版本是 GB/T 32495-2016 。

GB/T 32495-2016 发布之时，引用了标准

• GB/T 20176-2006 表面化学分析.二次离子质谱.用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
• GB/T 22461-2008 表面化学分析.词汇
• GB/T 25186-2010 表面化学分析.二次离子质谱.由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子
• ISO 18115-1 表面化学分析词汇第1部分：通用术语和光谱学中使用的术语*， 2023-06-01 更新

* 在 GB/T 32495-2016 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。

GB/T 32495-2016的历代版本如下：

• 2016年 GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

本标准详细规定了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中砷进行深度剖析的方法，以及用触针式轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。本标准适用于砷原子浓度范围从1 × 10 atoms/cm~2.5 × 10 atoms/cm的单晶硅、多晶硅、非晶硅样品，坑深在50 nm及以上。

标准号

GB/T 32495-2016

别名

GBT32495-2016
GB32495-2016

发布

2016年

ICS

71.040.40

发布单位

国家市场监督管理总局

当前最新

GB/T 32495-2016

 

 

引用标准

GB/T 20176-2006 GB/T 22461-2008 GB/T 25186-2010 ISO 18115-1

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