美利体育登录入口官网:ISO 25178-604:2013
产品几何技术规范(GPS) 表面纹理 平面 第604部分 非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器
Geometrical product specifications (GPS).Surface texture: Areal.Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
- 标准号
- ISO 25178-604:2013
- 发布
- 2013年
- 国际标准分类(ICS)
- 17.040.20 表面特征 17.040.30 测量仪器仪表
- 总页数
- 48页
- 中文版
- GB/T 33523.604-2022 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 25178-604:2025
- 当前最新
- ISO 25178-604:2025
- 引用标准
- ISO 14406:2010 ISO 14978:2006 ISO 25178-2:2012 ISO 25178-601:2010 ISO 25178-602:2010 ISO 3274:1996 ISO 4287:1997 ISO/IEC GUIDE 99:2007
- 本体
- 计量特性
- 适用范围
- ISO 25178 的这一部分规定了用于表面高度 3D 测绘的相干扫描干涉测量 (CSI) 系统的计量特性。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 区域参考 areal reference | 仪器的一个组成部分，生成一个参考表面，相对于该参考表面测量表面形貌 |
| 仪器坐标系 coordinate system of the instrument | 右手正交轴系统（x, y, z），其中（x, y）由仪器的区域参考建立，z轴平行于光轴并垂直于（x, y）平面 |
| 测量环 measurement loop | 包含连接工件和探头的所有组件的闭合链，例如定位装置、工件夹具、测量支架、驱动单元、探测系统 |
| 工件的真实表面 real surface of a workpiece | 物理存在的特征集合，将整个工件与周围介质分离 |
| 表面探头 surface probe | 在测量过程中将表面高度转换为信号的美利体育官网首页网址 |
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| 相干扫描干涉法系统 CSI | 用于表面高度3D映射的计量系统 |
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美利体育登录入口官网: ISO 25178-604:2013相似标准
EN ISO 25178-604:2013 产品几何技术规范(GPS).表面纹理:平面.第604部分:非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器
DIN EN ISO 25178-604 E:2010-07 产品几何技术规范(GPS) 表面纹理 平面 第604部分 非接触式标称特征(连贯性扫描干涉法)仪器（草案）
GB/T 33523.602-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性
GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS）表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性
GB/T 33523.605-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构区域法 第605部分：非接触（点自动对焦探针）式仪器的标称特性