| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 仪器坐标系 coordinate system of the instrument | 定义为右手正交轴系 (X,Y,Z),其中 (X,Y) 是由仪器的面参考导轨建立的平面,Z 轴位于触针轨迹平面内且垂直于 (X,Y) 平面。 |
| 测量回路 measurement loop | 连接工件和触针尖端的闭合链,包括定位装置、工件夹具、测量支架、驱动单元和探测系统(拾取器)。 |
| 用户调整 user adjustment | 仅利用用户可用的手段进行的测量仪器调整,通常涉及使用随仪器提供的量具,自动或手动调整参数以使仪器正常工作。 |
| 残余修正误差 residual correction error | 在修正系统误差后获得的量值与该量值真实值之间的差。 |
| 侧向扫描系统 lateral scanning system | 在 (X,Y) 平面内执行被测表面扫描的系统。 |
| 面参考导轨 areal reference guide | 仪器的组件,用于生成参考表面,探测系统相对于被测表面沿理论上精确的轨迹在该参考表面上移动。 |
| X 轴驱动单元 drive unit X | 使探测系统或被测表面沿 X 轴参考导轨移动的仪器组件,提供触针尖端的横向 X 坐标位置。 |
| Y 轴驱动单元 drive unit Y | 使探测系统或被测表面沿 Y 轴参考导轨移动的仪器组件,提供触针尖端的横向 Y 坐标位置。 |
| 横向位置传感器 lateral position sensor | 驱动单元的组件,提供支点的横向位置。 |
| 探测系统 probing system | 由触针、支点、探头和数字化系统组成的仪器组件。 |
| 探头 probe | 在测量过程中将高度转换为信号的装置。 |
| 数字化系统 digitizing system | 将模拟信号转换为数字信号的装置。 |
| 触针 stylus | 由尖端和臂组成的机械装置。 |
| 圆弧运动误差 error due to arcuate motion | 由触针绕支点旋转产生的矢量误差。 |
| 测量体积 measuring volume | 以仪器测量的所有三个坐标的极限表示的仪器范围。 |
| 响应曲线 response curve | 描述实际量与测量量之间关系的函数的图形表示。 |
| 放大系数 amplification coefficient | 从响应曲线获得的线性回归曲线的斜率。 |
| 仪器噪声 instrument noise | 仪器在理想无噪声环境中产生的内部噪声,添加到输出信号中。 |
| 静态噪声 static noise | 侧向扫描系统无运动时,输出信号上的仪器噪声和环境噪声之和。 |
| 动态噪声 dynamic noise | 驱动单元运动期间输出信号上出现的噪声。 |
| X 轴采样间隔 sampling interval in X | 沿 X 轴两个相邻测量点之间的距离。 |
| Y 轴采样间隔 sampling interval in Y | 沿 Y 轴两个相邻测量点之间的距离。 |
| Z 轴数字化步长 digitization step in Z | 提取表面两个纵坐标之间沿 Z 轴的最小高度变化。 |
| 横向分辨率 lateral resolution | 可美利体育登录入口官网到的两个特征之间的最小分离距离。 |
| 全高度传输宽度极限 width limit for full height transmission | 测量高度保持不变的窄矩形沟槽的宽度。 |
| 最大局部斜率 maximum local slope | 探测系统可评估的表面特征的最大局部斜率。 |
| 测量速度 speed of measurement | 探测系统沿 X 轴相对于被测表面的移动速度。 |
| 探测系统的动态 dynamic of the probing system | 探测系统的机械和电气动态特性,共同影响输出信号。 |
| 探测系统的临界动态 critical dynamic of the probing system | 输出信号发生畸变的追踪速度的最大值。 |
| 接触式(触针式)面轮廓度测量仪器 无特定型号,符合 ISO 25178-601 标准 | 用于测量表面纹理的仪器,通过触针接触表面进行测量,定义其计量特性。 |
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