美利体育登录入口官网:GB/T 1554-2009
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
GBT1554-2009, GB1554-2009
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- 标准号
- GB/T 1554-2009
- 别名
- GBT1554-2009, GB1554-2009
- 发布
- 2009年
- 国际标准分类(ICS)
- 29.045 半导体材料
- 总页数
- 21页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 1554-2009
- 引用标准
- GB/T 14262-1993 YS/T 209-1994
- 被代替标准
- GB/T 1554-1995
- 适用范围
- 本标准规定了择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
本标准适用于晶向为<111>、<100>或<110>、电阻率为10
Ω?m～10 Ω?m、位错密度在0cm ～10 cm 之间的硅单晶锭或硅片中原生缺陷的检验。 本方法也适用于硅单晶片。
美利体育登录入口官网: GB/T 1554-2009 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 平行光源 照度 100 lx一150 lx，背景为无光泽黑色 | 用于宏观观察缺陷分布 |
| 金相显微镜 具有 X-Y 机械载物台及测微计，放大倍数不低于 100 倍 | 用于微观观察缺陷特征 |