美利体育登录入口官网:GB/T 1554-2009
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques
GBT1554-2009, GB1554-2009
美利体育登录入口官网: GB/T 1554-2009 中，可能用到以下仪器
硅锗(Si-Ge)晶体基片
合肥科晶材料技术有限公司
Suna硅片 SC-25-45
北京优纳珂科技有限公司
Suna硅片 SC-4-10
北京优纳珂科技有限公司
AL120半导体晶圆搬送及美利体育登录入口官网显微镜
奥伟登光学科技（上海）有限公司
用于12”精密的观察和复检系统 Leica DM12000M
广州领拓仪器科技有限公司
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- 标准号
- GB/T 1554-2009
- 别名
- GBT1554-2009
GB1554-2009 - 发布
- 2009年
- ICS
-
29.045
- 总页数
- 21页
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 当前最新
- GB/T 1554-2009
- 引用标准
- GB/T 14262-1993 YS/T 209-1994
- 被代替标准
- GB/T 1554-1995
本标准规定了择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。
本标准适用于晶向为<111>、<100>或<110>、电阻率为10
美利体育登录入口官网: GB/T 1554-2009 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 平行光源 照度 100 lx一150 lx，背景为无光泽黑色 | 用于宏观观察缺陷分布 |
| 金相显微镜 具有 X-Y 机械载物台及测微计，放大倍数不低于 100 倍 | 用于微观观察缺陷特征 |