美利体育登录入口官网:GB/T 24468-2009
半导体美利体育官网首页网址可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)
GBT24468-2009, GB24468-2009
2026-05-01
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- 标准号
- GB/T 24468-2009
- 别名
- GBT24468-2009, GB24468-2009
- 发布
- 2009年
- 国际标准分类(ICS)
- 17.040.30 测量仪器仪表
- 总页数
- 33页
- 采用标准
- SEMI E10-0304 MOD
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局
- 替代标准
- GB/T 24468-2025
- 当前最新
- GB/T 24468-2025
- 引用标准
- SEMI E35 SEMI E58 SEMI E79 SEMI El16
- 适用范围
- 本标准通过提供半导体制造美利体育官网首页网址(以下简称美利体育官网首页网址)在制造环境下的可靠性、可用性和维修性(以下简称RAM)性能的测量标准，为这种美利体育官网首页网址的用户和美利体育官网首页网址供应商建立一个交流的共同基础。 本标准定义了美利体育官网首页网址的六个基本状态，所有的美利体育官网首页网址条件和阶段都必须归入这六个状态。美利体育官网首页网址的状态 由功能决定，而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的美利体育官网首页网址可靠性的测量主要集中在美利体育官网首页网址失效和美利体育官网首页网址使用的关系上，而不是美利体育官网首页网址失效和美利体育官网首页网址经历的(日历)总时间之间的关系。 本标准第5章(美利体育官网首页网址的状态)定义了美利体育官网首页网址的时间是如何分类的，第6章(RAM测量)确定了测量美利体育官网首页网址性能的公式。第7章(不确定度测量)给出了用统计学对计算出的性能量值进行评估的方法。 本标准的有效实施，要求美利体育官网首页网址的(RAM)性能可以通过美利体育官网首页网址的运行时间和周期进行跟踪。对美利体育官网首页网址状态的自动跟踪不属于本标准的范围，它由SEMI E58所覆盖。用户和供应商之间的清晰有效的沟通可以促进美利体育官网首页网址性能的不断提高。 本标准中的RAM指标可以在整个美利体育官网首页网址和分系统层次上直接应用于非集群美利体育官网首页网址，也可以在分系统层次(比如工艺模块)用于多路集群美利体育官网首页网址。
| 术语 | 描述 |
|---|---|
| 美利体育官网首页网址不能工作时间 Down Time | 美利体育官网首页网址不处于执行其预定功能的状态的时间或不能执行其预定功能的时间，不包括非工作时间的任何部分。 |
| 平均失效间生产时间 MTBFp | 在规定时间内，美利体育官网首页网址执行其预定功能的平均时间，计算方法为生产时间除以失效次数。 |
美利体育登录入口官网: GB/T 24468-2009 中提到的仪器美利体育官网首页网址
| 主机 智能化监控系统 | 代表工厂和用户与各美利体育官网首页网址进行通信的智能系统，起到监督作用。 |
| 多路集群美利体育官网首页网址 多个独立加工流程 | 具有一个以上独立加工流程的集群美利体育官网首页网址，如相同型号的多个装载端口或多路真空锁。 |