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本标准通过提供半导体制造美利体育官网首页网址(以下简称美利体育官网首页网址)在制造环境下的可靠性、可用性和维修性(以下简称RAM)性能的测量标准,为这种美利体育官网首页网址的用户和美利体育官网首页网址供应商建立一个交流的共同基础。 本标准定义了美利体育官网首页网址的六个基本状态,所有的美利体育官网首页网址条件和阶段都必须归入这六个状态。美利体育官网首页网址的状态 由功能决定,而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的美利体育官网首页网址可靠性的测量主要集中在美利体育官网首页网址失效和美利体育官网首页网址使用的关系...
| 术语 | |
|---|---|
| 美利体育官网首页网址不能工作时间 | Down Time |
| 平均失效间生产时间 | MTBFp |
| 主机 智能化监控系统 | 代表工厂和用户与各美利体育官网首页网址进行通信的智能系统,起到监督作用。 |
| 多路集群美利体育官网首页网址 多个独立加工流程 | 具有一个以上独立加工流程的集群美利体育官网首页网址,如相同型号的多个装载端口或多路真空锁。 |
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