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规定了使用斐索多光束干涉测量薄的高反射涂层(最多 2 )厚度的方法。 所描述的方法不能应用于搪瓷涂层。 给出了原理、定义、美利体育官网首页网址、影响测量精度的因素、校准、程序和测量精度。
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